“1.5米掃描干涉場曝光系統”近日通過驗收

發布時間:2020-09-30 00:00    來源:儀器信息網

關鍵詞:“1.5米掃描干涉場曝光系統” 通過驗收

摘要:2020年8月24-25日,國家自然科學基金委員會(以下簡稱自然科學基金委)信息科學部組織專家對中國科學院長春光學精密機械與物理研究所承擔的國家重大科研儀器設備研制專項(部委推薦)“1.5米掃描干涉場曝光系統”進行了結題驗收。驗收專家組由光學、儀器、檔案和財務等領域的23位專家組成。自然科學基金委黨組成員、副主任王承文出席。

  

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  圖1. “1.5米掃描干涉場曝光系統”項目驗收專家組會議現場

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  圖2. 項目負責人巴音賀希格研究員匯報項目完成情況

  2020年8月24-25日,國家自然科學基金委員會(以下簡稱自然科學基金委)信息科學部組織專家對中國科學院長春光學精密機械與物理研究所承擔的國家重大科研儀器設備研制專項(部委推薦)“1.5米掃描干涉場曝光系統”進行了結題驗收。驗收專家組由光學、儀器、檔案和財務等領域的23位專家組成。自然科學基金委黨組成員、副主任王承文出席。

  專家組認為,項目組成功研制了1.5米掃描干涉場曝光系統,取得了一系列技術創新和突破,各項性能指標均達到或超過項目計劃書要求,全面完成了項目的研制任務;項目管理文件和技術文檔記錄全面,內容真實可靠,檔案立卷符合規范要求;項目經費使用符合管理辦法要求;一致同意項目通過驗收。

  王承文副主任對項目組取得的成果給予肯定,強調儀器設備在科學研究、技術創新以及科技強國建設中的重要地位,并希望依托單位和項目組進一步做好項目的科技成果轉化,使科學儀器設備發揮更大的作用。

  

(責編:heyan)
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